Gas Tecnici nei Processi di Deposizione in Vuoto

• venerdì 23 aprile 2021

• deposizioneinvuoto
• gastecnici

Molti processi industriali di deposizione in vuoto necessitano di un ambiente con una composizione dell’ambiente controllata: nelle camere viene quindi immessa con continuità una certa quantità di gas tecnici ad alta purezza, utilizzando delle valvole a flusso controllato denominate MFC (Mass Flow Controllers).